叉指電極

包括叉指電極和三電極共面集成叉指電極，其作用是將化學(xué)和生物敏感物質(zhì)濃度轉(zhuǎn)化為電信號進(jìn)行檢測和識別。

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壓阻式壓力芯片

包括不同量程的壓力芯片，包括絕壓芯片和表壓芯片，主要應(yīng)用于血壓計(jì)、高度計(jì)和氣壓計(jì)等。

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微針

包括硅基微針和可溶性微針模具，常用在美容儀、微針貼劑和給藥等領(lǐng)域。

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微熱板芯片

包括正面開腔懸臂梁式、背面開腔懸膜式和旁熱式，主要用作MEMS氣體傳感器的加熱芯片。

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